
潔凈車間及產(chǎn)線氣態(tài)分子污染物(AMC)專業(yè)化檢測(cè)服務(wù),輔助企業(yè)對(duì)潔凈室環(huán)境及相關(guān)位置的微量雜質(zhì)進(jìn)行監(jiān)測(cè)和控制,提高產(chǎn)品良率,保障產(chǎn)品質(zhì)量。

適用范圍:
潔凈室氣態(tài)分子污染物(AMC)
隨著半導(dǎo)體、芯片、晶圓等高科技產(chǎn)品不斷向微型化發(fā)展,潔凈室環(huán)境面臨著前所未有的挑戰(zhàn),在此背景下,AMC顯得尤為重要,針對(duì)超低濃度氣態(tài)化學(xué)污染物的檢測(cè)難題,NOA挪亞檢測(cè)提供專業(yè)的AMC檢測(cè)技術(shù)支持,以及覆蓋全流程的一站式潔凈室檢測(cè)解決方案。
檢測(cè)項(xiàng)目:
• SEMI F27
• MA(Molecular Acids)酸性分子污染物:氟化物、氯化氫、氮氧化物、硫酸霧等
• MB(Molecular Bases)堿性分子污染物:NH3、AMINE、NMP、HMDS等
• MC(Molecular Condensable organic Compounds)可凝結(jié)的分子有機(jī)化合物:清洗、勻膠、去膠、刻蝕、顯影工序使用有機(jī)溶劑成分殘留。
• MD(Molecular Dopants)分子摻雜物:擴(kuò)散、離子注入和CVD等工序產(chǎn)生的硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B,H,)等
• 揮發(fā)性有機(jī)物分析(VOC)
• 現(xiàn)場(chǎng)采樣
檢測(cè)儀器:
• 氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)
• 氣象色譜儀GC
• 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)
• 離子色譜儀IC

品牌資質(zhì)雙重保證
NOA作為國內(nèi)頭部檢測(cè)認(rèn)證機(jī)構(gòu),行業(yè)內(nèi)具有相當(dāng)?shù)钠放朴绊懥蜋?quán)威性,NOA獲得CMA,CNAS認(rèn)證,確保其管理體系和技術(shù)能力符合要求。
設(shè)備保障,技術(shù)可靠
NOA電子材料和化學(xué)品測(cè)試中心配備高精度設(shè)備,并定期校準(zhǔn)和維護(hù),測(cè)試人員行業(yè)經(jīng)驗(yàn)豐富,嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)操作程序進(jìn)行測(cè)試,確保測(cè)試數(shù)據(jù)的可靠性。
質(zhì)量持續(xù)控制,數(shù)據(jù)報(bào)告嚴(yán)格審核
NOA通過內(nèi)部質(zhì)量控制(如使用標(biāo)準(zhǔn)樣品)和外部能力驗(yàn)證,持續(xù)監(jiān)控檢測(cè)質(zhì)量。測(cè)試數(shù)據(jù)需經(jīng)過多重審核,確保結(jié)果準(zhǔn)確無誤。



