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晶圓，硅片及其他產(chǎn)品的顆粒、污染物、形貌及材料表征等專業(yè)化檢測服務。

適用范圍：

硅片（拋光片、外延片、SOI片、氬退火片、碳化硅片、硅基氮化鎵外延片，晶圓（2寸、4寸、6寸、8寸、12寸）

檢測項目：

•  表面金屬離子分析：Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn

•  表面有機污染物分析：油脂、蠟、潤滑油等

•  表面粗糙度分析

•  載流子濃度

•  電阻率

•  碳氧含量

•  表面缺陷檢測：凸紋、凹紋、崩邊、缺口、裂紋、劃傷、塌邊、波紋、機械損傷、表面顆粒沾污等

•  施主雜質(zhì)：鋁、鎵、鋅、鎂、鐵、銅等

•  受主雜質(zhì)：硼、鋁、鎵、銦等

•  摻雜元素：鎂、鋁、鋅、鎵、磷、砷、硒等

檢測儀器：

•  電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)

•  氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）

•  離子色譜儀（IC）

•  全反射X射線熒光儀（TXRF）

•  汞探針CV

•  D-SIMS

•  XRT

•  Candela 8520