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適用范圍： 

•  化學(xué)氣相沉積 (CVD)氣體: 氨氣、氨氣、氧化亞氮、TEOS(正硅酸乙酯)、TEB(硼酸三乙酯)、TEPO(磷酸三乙酷)、磷化氫、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六 氟化鎢、六氟乙烷、四氯化鈦、甲烷等

•  離子注入氣體: 磷系、砷系、硼系氣體為主:氟化砷、三氟化磷、磷化氫、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、六氟化硫、氙氣。.

•  光刻工藝氣體：氟氣、氮?dú)?、氟氣、氖氣?/span>

•  擴(kuò)散工藝氣體：氬氣、三氯氧磷等

•  刻蝕工藝氣體：氟化物氣體(鹵化物類)為主:氨氣、四氟化碳、八氟環(huán)丁烷、八氟環(huán)戊烯、三氛甲烷、二氟甲烷、氯氣、溴化氫、三氯化硼、六氟化硫、一氧化碳等

•  摻雜工藝氣體：含硼、磷、砷等三族及五族原子之氣體，如三氯化硼乙硼烷、三氟化硼、磷化氫、砷化氫等

•  外延生長(zhǎng)氣體：二氯二氫硅、四氯化硅和硅烷等

檢測(cè)項(xiàng)目：

•  氣體純度

•  雜質(zhì)氣體：N2、O2、CH4、CO、CO2、H2。

•  顆粒物

•  金屬離子

•  雜質(zhì)離子：F-、Br-、Cl-、NO2-、NO3-、SO42-、NH4+

•  水分

•  油分

•  氦檢業(yè)務(wù)

•  未知?dú)怏w分析

檢測(cè)儀器：

•  氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）

•  氣象色譜儀GC

•  電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)

•  露點(diǎn)儀

•  離子色譜儀IC

•  傅里葉紅外光譜儀FTIR